| 型 号： | JC-C002 | 输 入 电 压： | 三相交流380V 50HZ |
| 设备外形尺寸 ： | 2380*2150*2200mm | 输 出 频 率： | 40KHZ |
| 真空腔体尺寸 ： | 1445*1265*1055mm | 输 岀 功 率： | 10Kw |
| 最大处理尺寸： | 1120*635mm | 放电真空度： | 20Pa-80Pa |
| 最大处理层数： | 15层 | 可加载气体： | 四种（O₂, N₂, H₂, CF4） |
■ 釆用上进气下抽气的方式，专利的抽气挡板保证优良的均匀性；
■ 电极板用整块铝板中间镂空，冷却通道釆用深孔钻方式结合内部特定位置截流，引导冷却水按规定方向运行，保证恒温；具有缺气、压力、电路等安全保护系统；
■ 釆用两路水路，分别单独给真空腔体和干泵确保冷却效果；
■ 适用于PCB行业的硬板、多层板、盲孔硬板等。
