型 号: | JC-C007 | 料 片 尺 寸: | 长150•270mm,宽35-95mm |
设备外形尺寸 : | 2140*1340*1760mm | 效 率: | 4道4片,约500片/小时 |
反应仓尺寸 : | 320*610*50mm | 应用工艺: | 集成电路IC封装工艺LED封装工艺 |
等离子体发生器: | 频率13. 56MHz,功率0-600W可调,自动阻抗匹 | 气路系统: | 标准配置2路(02Ar/H2),质量流量计控制,气体流量0-200ml/min可调 |
控制系统: | 触摸屏+PLC全自动控制,手动+自动两种操作模式 | 工作气体: | 可按客户需求弹性设计 |